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来源:百度文库 编辑:神马文学网 时间:2024/05/23 14:29:12
PVD(Physical Vapor Deposition):物理气相沉积,是指在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,
利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉
积在工件上。一般用来表面改性或镀涂层。